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描述:Veeco K465i設(shè)備耐高溫濾芯 1、濾材: 耐高溫玻纖濾料 2、支撐材料:雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng) 3、骨架:304#不銹鋼菱形網(wǎng) 4、密封墊圈:硅發(fā)泡橡膠墊片 5、密封膠:硅橡膠 規(guī)格: 1、端蓋:φ360*φ225, 304# 不銹鋼 2、耐高溫密封墊:φ340*φ265*T5 3、折數(shù):一級(100μm) :118 折 , 折高 65mm
標(biāo)題:Veeco K465i設(shè)備耐高溫濾芯
產(chǎn)品概述
Veeco K465i設(shè)備耐高溫濾芯/Veeco K465i設(shè)備濾芯
產(chǎn)品說明:
該產(chǎn)品系我司針對Veeco K465i設(shè)備設(shè)計(jì)生產(chǎn)的濾芯,安裝于真空泵前,用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒; 2只/組(粗濾、細(xì)濾)
組成材料:
1、濾材: 耐高溫玻纖濾料
2、支撐材料:雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng)
3、骨架:304#不銹鋼菱形網(wǎng)
4、密封墊圈:硅發(fā)泡橡膠墊片
5、密封膠:硅橡膠
規(guī)格:
1、端蓋:φ360*φ225, 304# 不銹鋼
2、耐高溫密封墊:φ340*φ265*T5
3、折數(shù):一級(100μm) :118 折 , 折高 65mm; 二級( 25μm ) :88 折,折高 65mm
過濾效率:
1、粗濾:100μm=90%
2、細(xì)濾:25μm=99.95%
3、透氣量:1000L/Sec/㎡
產(chǎn)品特性:
1、采用兩級過濾工藝,分級過濾雜質(zhì)、有效去除不同大小的顆粒雜質(zhì)。
2、波紋工藝,有效過濾面積增加,容污能力強(qiáng),使用周期長。
3、濾料采用玻纖濾料,具耐高溫、耐腐蝕,長期使用溫度可達(dá)250度以上。
4、專用的高精度過濾材料,空隙均勻,過濾精度高,有效保護(hù)設(shè)備。
MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是生長高質(zhì)量半導(dǎo)體薄膜材料的 技術(shù),在LED 、半導(dǎo)體激光器、太陽能電池等多個(gè)領(lǐng)域都有應(yīng)用?,F(xiàn)有MOCVD 設(shè)備 的成本非常高,且依賴進(jìn)口,進(jìn)行MOCVD 設(shè)備研究對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、新能源 領(lǐng)域以及 技術(shù)的發(fā)展都很有必要。
MOCVD 設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運(yùn)系統(tǒng)以 及整體控制系統(tǒng)。本文重點(diǎn)研究了氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的設(shè)計(jì),包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難 點(diǎn),并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點(diǎn)。
氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應(yīng), 并把反應(yīng)后的氣體輸送至排氣管路進(jìn)行尾氣處理。氣體輸運(yùn)包括源供給系統(tǒng), 反應(yīng)室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復(fù)雜,而且避免MO 源的壁面沉積) 對氣體流經(jīng)的關(guān)鍵管路持續(xù)吹掃。基于 考慮,設(shè)備需 要定期進(jìn)行泄漏檢查。
由于MOCVD 系統(tǒng)中所采用的大多數(shù)源均易燃易爆,雨其中的 化物源又,因此,必須對反應(yīng)過后的尾氣進(jìn)行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒
芯
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